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| 新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
穆参军
  收藏 | 浏览/下载：62/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2013/04/12 |
| 一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26
李昕欣; 程保罗; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 转动竖直微镜的硅微机械光开关研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2004
杨艺榕
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算 会议论文
第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003
孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 微能源 期刊论文
电源技术, 2002, 期号: 06
刘路; 解晶莹
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/03/29 |
| 微执行器基础元件——微齿轮——的研制 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） , 1991
苏毅
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/03/06 |
