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| 基于散列链的无线传感器网络密钥管理的研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
覃荣华
  收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102205941A, 申请日期: 2011-10-05, 公开日期: 2011-10-05
吴亚明; 张志强; 李绍良; 徐静
收藏 | 浏览/下载：37/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
陈平; 焦继伟; 葛道晗; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/04/13
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| CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器 期刊论文
光学学报, 2010, 期号: 10
徐德辉; 熊斌; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 星载自适应调零天线在LEO卫星中的应用研究 期刊论文
通信技术, 2010, 期号: 06
赵星惟; 吕源; 刘会杰; 梁旭文
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
杨永亮
收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
冷悦
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 表面特异性分子自组装与微悬臂梁生化传感器 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
陈滢
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101567394, 申请日期: 2009-10-28, 公开日期: 2009-10-28
杨恒; 成海涛; 戴斌; 吴燕红; 李昕欣; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101492150, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29
于海涛; 李昕欣; 李俊纲; 许鹏程; 杨天天
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/01/06 |
