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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 面向 MEMS 红外光源的高辐射率纳米硅结构制备 期刊论文 仪表技术与传感器, 2017 作者:  明安杰;  谭秋林;  刘卫兵;  熊继军;  王玮冰 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/05/14 离子注入剂量的检测方法 专利 申请日期: 2012-12-24, 作者:  邹志超;  李超波;  窦伟 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2017/06/06 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法 专利 申请日期: 2011-12-15, 作者:  屈芙蓉;  夏洋;  李超波;  汪明刚 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/09/14 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 专利 申请日期: 2011-12-15, 作者:  夏洋;  汪明刚;  李超波;  屈芙蓉 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/09/14 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测装置 专利 申请日期: 2011-12-12, 作者:  李超波;  夏洋;  屈芙蓉;  汪明刚 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/06/08 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测装置 专利 申请日期: 2011-12-12, 公开日期: 2012-11-20 作者:  汪明刚;  屈芙蓉;  夏洋;  李超波 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2012/11/20 一种控制注入结深度的方法 专利 申请日期: 2011-12-12, 公开日期: 2012-11-20 作者:  夏洋;  汪明刚;  李超波 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/11/20 A novel method to produce black silicon for solar cells 期刊论文 Solar Energy, 2011 作者:  Liu BW(刘邦武) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/11/14