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| 基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的研制 期刊论文 微细加工技术, 2010 方光荣 收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2010/09/29 |
| 基于电子束曝光技术的三维微结构研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2008 1宋志,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 基于SEM的电子束曝光软件系统研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1魏淑华,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 电子束曝光建模仿真及其在高精度图形保真研究中的应用 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2007 1赵国荣,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:53/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2005 1刘珠明,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 基于DSP的新型图形发生器主控制器的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2004 1郭颖,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2004 1杨浩伟,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2010/10/18
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| DSP控制的新型图形发生器硬件单元技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2004 1袁修鹏,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 电子与固体相互作用的Monte Carlo模拟 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2004 1黄秀荪,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:55/0  |  提交时间:2010/10/18
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| 基于新型图形发生器的数据格式转换软件的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2003 1林滢,电工研究所 收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2010/10/18
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