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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 极紫外投影光刻中若干关键技术研究 学位论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2002 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2012/03/21 极紫外投影光刻  Schwarzschild 物镜  计算机辅助装调  激光等离子体  抗蚀剂  多层膜  均匀性  散射