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Zr掺杂Taq薄膜离子导体性能的研究 Study on Properties of TaOx Films Ion Conductor Doped with Zr 期刊论文
2006, 卷号: 25, 页码: 58-61
作者:  黄佳木[1];  吕佳[1];  张新元[1];  覃丽璐[1]
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Zr掺杂TaO_x薄膜离子导体性能的研究 Study on Properties of TaOx Films Ion Conductor Doped with Zr 期刊论文
2006, 卷号: 25, 页码: 58-61
作者:  黄佳木;  吕佳;  张新元;  覃丽璐
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/11/30
工艺参数对磁控溅射TaOx薄膜离子导体性能的影响 Study on the Ion Conduct Properties of TaOx Film by Magnetron Sputtering Method 期刊论文
2005, 卷号: 19, 页码: 123-125
作者:  黄佳木[1];  吕佳[1];  张新元[1];  覃丽禄[1]
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