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一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 期刊论文
微纳电子技术, 2007
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
用于微机电系统的SiO2/Si3N4驻极体的制备及电荷稳定性 期刊论文
功能材料, 2007
肖慧明; 温中泉; 张锦文; 陈钢进
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/11
一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 其他
2007-01-01
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究 期刊论文
物理学报, 2006
阮勇; 郇勇; 张大成; 张泰华; 王阳元
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
MEMS技术及其在军事中的应用 期刊论文
微电子学, 2006
冯亚林; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2017/12/03
用于提取外周血DNA微流控样品预处理芯片的研制 期刊论文
高等学校化学学报, 2006
陈兴; 崔大付; 刘长春; 李辉; 赵卫星
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12
基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术 期刊论文
仪器仪表学报, 2005
金翠云; 栗大超; 靳世久; 冯亚林; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用 期刊论文
机械强度, 2005
郇勇; 张泰华; 杨业敏; 阮勇; 张大成
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12
基于模糊图像合成技术的MEMS平面微运动测试技术 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2004
金翠云; 靳世久; 栗大超; 冯亚林; 李一博; 郝一龙
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12
对准键合精度检测系统 其他
2004-01-01
张大成; 李婷; 王颖; 王兆江; 郝一龙; 王阳元
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13

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