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白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 期刊论文
2014
江小峰; 林春; 谢海鹤; 颜黄苹; 张建城; 黄元庆
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/05/17
Optic fiber MEMS pressure sensor based on white light interferometry 期刊论文
http://dx.doi.org/10.3788/gzxb20144310.1006003, 2014
Jiang, Xiao-Feng; Lin, Chun; Xie, Hai-He; Yan, Huang-Ping; Zhang, Jian-Cheng; Huang, Yuan-Qing; 林春; 颜黄苹; 黄元庆
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/07/22
带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合 期刊论文
2013
林智鑫; 王盛贵; 刘琦; 曾毅波; 郭航
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/05/17
Microcontact electrochemical etching technique for rapid fabrication of glass-based microfluidic chips 期刊论文
http://dx.doi.org/10.1039/c3ra40611c, 2013
Ye, Jiaming; Wang, Xiaodong; Zhuang, Jinliang; Zhou, Yongliang; Tian, Zhaowu; 田昭武
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22
Silicon-glass-based single piezoresistive pressure sensors for harsh environment applications 期刊论文
http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/23/7/075020, 2013
San, Haisheng; Zhang, Hong; Zhang, Qiang; Yu, Yuxi; Chen, Xuyuan; 伞海生; 张弘; 余煜玺; 陈旭远
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/07/22
A Si-Glass based pressure sensor with a single piezoresistive element for harsh environment applications 其他
2013-01-01
Zhang, H; Xu, Huiming; Li, Yan; Song, Zij; San, Haisheng; Yu, Yuxi; 伞海生; 余煜玺
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22
Self-Packaging Fabrication of Silicon-Glass-Based Piezoresistive Pressure Sensor 期刊论文
http://dx.doi.org/10.1109/LED.2013.2258320, 2013
San, Haisheng; Li, Yan; Song, Zijun; Yu, Yuxi; Chen, Xuyuan; 伞海生; 余煜玺; 李彦; 陈旭远
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22
Direct Al-Al contact in silicon-Pyrex7740 anodic bonding for hermetic package and electrical interconnecting 其他
2011-01-01
Zheng, Xiaoshan; Yan, Xin; Song, Zijun; San, Haisheng; Chen, Xuyu; 伞海生; 陈旭远
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22
Design and simulation of a differential and decoupled micromachined gyroscope 期刊论文
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.483.674, 2011
Liu, Yang; Wang, Lingyun; Lei, Tingping; Du, Jiang; Jiang, Yiwen; Sun, Daoheng; Wang, XH; 孙道恒
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2013/12/12
Etch-back in DDSOG Process by Ultrasonic Agitation and Application to Tunneling Gyroscope Fabrication 期刊论文
http://dx.doi.org/10.1109/NEMS.2009.5068548, 2009
Wang, Lingyun; Zeng, Yibo; Li, Wenwang; Sun, Daoheng; 孙道恒
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2013/12/12
KOH  

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