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厦门大学 [4]
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2007 [1]
2003 [1]
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硅基Ge微区结构制备及Ge横向PIN探测器工艺研究
学位论文
2016, 2016
陈超文
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2017/06/20
微区结构
硅基Ge材料
位错
TMAH溶液腐蚀
PIN光电探测器
Micro structure
Silicon-based Germanium materials
Dislocations
Etching of TMAH solution
PIN Photodetector
高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究
期刊论文
2012
郑志霞
;
冯勇建
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/05/17
机械灵敏度
悬空薄膜
浓硼扩散
自停止腐蚀
mechanical sensitivity
free-handing diaphragm
deep boron diffusion
self-stopped etching
玻璃基微流控芯片的制作及原位拉曼检测
学位论文
2007, 2007
郝苇苇
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
微流控芯片
拉曼光谱
酶催化反应
microfluidic chip
Raman spectroscopy
enzyme catalyzed reaction
TMAH单晶硅腐蚀特性研究
期刊论文
2003
邓俊泳
;
冯勇建
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2011/04/26
四甲基氢氧化氨
各向异性腐蚀
微机电系统
TMAH
anisotropic etching
MEMS
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