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300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文
2016, 2016
王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong
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Large-scale SiO_2 photonic crystal for high efficiency GaN LEDs by nanospherical-lens lithography 期刊论文
2016, 2016
吴奎; 魏同波; 蓝鼎; 郑海洋; 王军喜; 罗毅; 李晋闽; Wu Kui; Wei Tong-Bo; Lan Ding; Zheng Hai-Yang; Wang Jun-Xi; Luo Yi; Li Jin-Min
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ILT approach for compensating 3-D mask effects 期刊论文
2010, 2010
Xiong Wei; Zhang Jinyu; Min-Chun Tsai; Wang Yan; Yu Zhiping
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Materials and noncoplanar mesh designs for integrated circuits with linear elastic responses to extreme mechanical deformations 期刊论文
2010, 2010
Dae-Hyeong Kim; Jizhou Song; Won Mook Choi; Hoon-Sik Kim; Rak-Hwan Kim; Zhuangjian Liu; Huang, Y.Y.; Keh-Chih Hwang; Yong-wei Zhang; Rogers, J.A.
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化学机械抛光中的纳米级薄膜流动 会议论文
中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二), 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会
张朝辉; 雒建斌; 雷红; Zhang Chaohui; Luo Jianbin; Lei Hong
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化学机械抛光中的纳米级薄膜流动 期刊论文
2010, 2010
张朝辉; 雒建斌; 雷红; Zhang Chaohui; Luo Jianbin; Lei Hong
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硅片化学机械抛光中表面形貌问题的研究 期刊论文
2010, 2010
王亮亮; 路新春; 潘国顺; 黄义; 雒建斌; 雷红; Wang Liangliang; Lu Xinchun; Pan Guoshun; Huang Yi; Luo Jianbin; Lei Hong
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相对湿度对材料表面粘附力影响的研究 期刊论文
2010, 2010
卿涛; 邵天敏; 温诗铸; QING Tao; SHAO Tian-min; WEN Shi-zhu
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碳纳米管的生长机理、可控生长及应用探索 期刊论文
2010, 2010
范守善; 姜开利; 刘亮; 刘长洪; 李群庆; FAN Shou-Shan; JIANG Kai-Li; LIU Liang; LIU Chang-Hong; LI Qun-Qing
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微纳米摩擦的弹性棘轮模型与形貌的尺度效应 期刊论文
2010, 2010
董云开; 张向军; 刘莹; 温诗铸; DONG Yun-kai; ZHANG Xiang-jun; LIU Ying; WEN Shi-zhu
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