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Micro-fabrication and hermeticity measurement of alkali-atom vapor cells based on anodic bonding 期刊论文
CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 17, 期号: 10, 页码: 5
作者:  Zhang, Lu;  Zhang, Wendong;  Zhang, Shougang;  Yan, Shubin
收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2021/11/29
Anodic bondable Li-Na-Al-B-Si-O glass-ceramics for Si - ULTCC heterogeneous integration 期刊论文
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY, 2019, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 2419
作者:  Chen, Guanyu;  Ma, Mingsheng;  Liu, Zhifu;  Wei, Anqing;  Zavabeti, Ali
收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2019/12/26
microfabricationandhermeticitymeasurementofalkaliatomvaporcellsbasedonanodicbonding 期刊论文
chineseopticsletters, 2019, 卷号: 17, 期号: 10
作者:  Zhang Lu;  Zhang Wendong;  Zhang Shougang;  Yan Shubin
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/09/02
CLOCKS  
Composites of Li-Al-B-Si-O glass and β-Al2O3 for LTCC-silicon heterogeneous integration applications 期刊论文
Ceramics International, 2018
作者:  Chen, Guanyu;  Liu, Zhifu;  Ma, Mingsheng;  Zhang, Faqiang;  Li, Yongxiang
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/28
MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文
传感器与微系统, 2017
谷专元; 何春华; 何燕华; 赵前程; 张大成
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03
Stand-alone differential capacitance force sensors with sub-nano-newton sensitivity 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017
Ye, Jilong; Sun, Taotao; Huang, Dong; Li, Zhihong; Lin, Li
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03
Glass-SOI-Based Hybrid-Bonded Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer With Hermetic Cavities for Immersion Applications 期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016, 卷号: 25, 期号: 5
作者:  Miao, Jing;  Wang, Hui;  Li, Peng;  Shen, Wenjiang(沈文江);  Xue, Chenyang
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2017/03/11
Electric current characteristic of anodic bonding 期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2015
He, Jun; Yang, Fang; Wang, Wei; Zhang, Li; Huang, Xian; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13
白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 期刊论文
2014
江小峰; 林春; 谢海鹤; 颜黄苹; 张建城; 黄元庆
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/05/17
Fabrication and characterization of sub-100/10nm planar nanofluidic channels by triple thermal oxidation and silicon-glass anodic bonding 期刊论文
biomicrofluidics, 2014
Ouyang, Wei; Wang, Wei
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/10

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