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斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列 成果
鉴定: 无, 2004
徐峥谊; 熊斌; 王跃林
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一种利用(100)硅片制作的微机械光开关 成果
鉴定: 无, 2001
李铁; 王跃林
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