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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
成果 [2]
发表日期
2004 [1]
2001 [1]
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斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
成果
鉴定: 无, 2004
徐峥谊
;
熊斌
;
王跃林
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/04/12
一种利用(100)硅片制作的微机械光开关
成果
鉴定: 无, 2001
李铁
;
王跃林
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2013/04/12
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