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ECR微波反应离子刻蚀DLC薄膜的实验研究 学位论文
: 四川大学, 2008
作者:  陆晓曼
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DLC  films  ECR  microwave  reactive  ion  etching  SEM  
集成HgCdTe双色探测芯片技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2005
作者:  叶振华
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