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高精度平面子孔径拼接算法研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  朱鹏辉
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2016/11/28
基于CGH的非球面混合补偿检测及离轴光学系统装调的关键技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  李明
收藏  |  浏览/下载:1597/0  |  提交时间:2015/11/30
高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  李晶
收藏  |  浏览/下载:64/0  |  提交时间:2015/11/30
大口径光学平面镜低阶面形检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  戚二辉
收藏  |  浏览/下载:61/0  |  提交时间:2015/11/30
子孔径拼接检测方法的研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  陈一巍
收藏  |  浏览/下载:50/0  |  提交时间:2015/11/30
光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  李永
收藏  |  浏览/下载:78/0  |  提交时间:2016/11/28
超高精度非球面面形检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2014
高松涛
收藏  |  浏览/下载:195/0  |  提交时间:2014/08/21
光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:  肖艳芬
收藏  |  浏览/下载:313/0  |  提交时间:2016/11/28
星间激光通信性能的地面检测与验证技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:  万玲玉
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2016/11/28
三孔较差像运动测量仪计算和统计的进一步探讨 学位论文
硕士, 昆明: 中国科学院云南天文台, 2000
作者:  邱春蓉
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2016/04/01


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