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科研机构
厦门大学 [5]
沈阳自动化研究所 [1]
内容类型
学位论文 [6]
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2015 [1]
2013 [1]
2011 [1]
2008 [1]
2001 [2]
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基于噪声分析的传感器故障诊断技术研究与开发
学位论文
硕士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
作者:
刘元锋
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2015/08/20
故障诊断
快速傅里叶变换
温度传感器
压力传感器
功率谱估计
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究
学位论文
2013, 2013
陶也
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/01/13
微机电系统
压力传感器
硅
MEMS
pressure sensors
silicon
基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究
学位论文
2011, 2011
吕浩杰
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2016/02/14
全高温
碳化硅
氮化铝
双凹槽接触式电容压力传感器
钱伟长摄动法
有限元
结构优化
热分析
Full high-temperature
Silicon Carbide
Aluminum Nitride
Double-notches Touch Mode Capacitive Pressure Sensor (DTMCPS)
Qian Wei-chang perturbation method
Finite Element Method (FEM)
Structural optimization
Thermal analysis
基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测
学位论文
2008, 2008
郭强
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
接触式电容压力传感器
有限元分析
微机电系统
微电容检测电路
TMCPS
FEA
MEMS
Micro-Capacitance Test Circuits
电容式压力微传感器及其无线测量系统
学位论文
2001, 2001
许金海
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
capacitive pressure sensor
touch mode
measurement circuit
wireless measurement system
电容压力传感器
接触式
测量电路
无线测量系统
接触式电容压力微传感器的分析与设计
学位论文
2001, 2001
焦玉忠
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
TMCPS
迟滞
DDTMCPS
TMCPS
hysteresis
DDTMCPS
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