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基于噪声分析的传感器故障诊断技术研究与开发 学位论文
硕士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
作者:  刘元锋
收藏  |  浏览/下载:73/0  |  提交时间:2015/08/20
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究 学位论文
2013, 2013
陶也
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2016/01/13
基于SiC-AlN双凹槽结构的MEMS全高温接触式电容压力传感器基础研究 学位论文
2011, 2011
吕浩杰
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2016/02/14
基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测 学位论文
2008, 2008
郭强
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2016/02/14
电容式压力微传感器及其无线测量系统 学位论文
2001, 2001
许金海
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2016/02/14
接触式电容压力微传感器的分析与设计 学位论文
2001, 2001
焦玉忠
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2016/02/14


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