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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海应用物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PDMS表面改性和辐射交联及其在软刻蚀技术中的应用 学位论文 博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2009 杨海军 收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2012/04/11 聚二甲基硅氧烷(PDMS)  表面改性  辐射交联  软刻蚀  转印   软X射线干涉光刻相关技术研究 学位论文 博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005 朱伟忠 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2012/04/11 软X射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  电子束光刻  衍射效率  软X射线干涉光刻