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北京大学 [3]
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其他 [3]
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2016 [1]
2004 [2]
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Design and Simulation of Corrugated Diaphragm Applied to the MEMS Fiber Optic Pressure Sensor
其他
2016-01-01
Gui, Yiming
;
Zhang, Yangxi
;
Liu, Guandong
;
Hao, Yilong
;
Gao, Chengchen
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2017/12/03
MEMS
corrugated diaphragm
sensitivity
FABRICATION
Noise analyzing of piezoresistive silicon materials
其他
2004-01-01
Yu, Xiaomei
;
Li, Ting
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/13
Noise analyzing of piezoresistive silicon materials
其他
2004-01-01
Yu, XM
;
Li, T
;
Zhang, DC
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/11/13
cantilever
noise
Hooge factor
SCANNING PROBE MICROSCOPY
INDUCED SURFACE STRESS
STORAGE
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