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Fabrication and characterization of thin silicon PIN detectors 其他
2014-01-01
Wang, Shaonan; Yu, Min; Tian, Dayu; Liu, Hongzhi; Wang, Peiquan; Shi, Baohua; Hu, Anqi; Du, Hong; Wang, Jinyan; Jin, Yufeng
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Highly sensitive detection of DNA with HNA defined silicon nanowire FET 其他
2013-01-01
Dong, Li; Yu, Xiaomei
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Study of Under Etching Characters of Si (100) in Surfactant Added TMAH 其他
2011-01-01
Hu, Qifang; Gao, Chengchen; Hao, Yilong; Zhang, Yangxi
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Fabrication of ultra-deep high- aspect- ratio isolation trench without void and its application 其他
2010-01-01
Qian, Liang; Wang, Jia; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen
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超薄硅基PIN高能粒子探测器的制造工艺和特性分析 其他
2008-01-01
李科佳; 王金延; 于民; 田大字; 张录; 金玉丰
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A Si3N4 tube formed using TMAH etching 其他
2007-01-01
Chen, Huijun; Zhang, Dacheng
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Fabrication of edge-suspended microwave passive components using CMOS-compatible micromachining 其他
2004-01-01
Zhang, Jinwen; Hon, Wai Cheong; Leung, Lydia L. W.; Chen, K.J.
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