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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Silicon Carbide Capacitive Pressure Sensors with arrayed sensing membranes 其他 2013-01-01 Meng, Bo; Tang, Wei; Peng, Xuhua; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13 silicon carbide  pressure sensor  arrayed sensing membranes  PDMS packaging  HARSH ENVIRONMENTS  MEMS   PECVD SiC as a chemical resistant material in MEMS 其他 2006-01-01 Guo, Hui; Wang, Yu; Chen, Sheng; Zhang, Guobing; Zhang, Haixia; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/16 PECVD  SiC  etch mask  device protection  MEMS