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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design and Characterization of Optical Interrogated Micromachined Accelerometer 会议论文 MICRO-NANO TECHNOLOGY XVII-XVIII, 2018-01-01 作者:  Feng, L. S.;  Zhang, Y.;  Zhang, Z. L. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/30 Optical accelerometer  Diffraction micrograting  Electrostatic actuation   Electrostatic cantilever resonators under a double-sided pull-pull drive scheme 会议论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2014-03-01 作者:  Yan, Xiaojun;  Qi, Mingjing;  Wu, Xiaoming;  Wang, Pengbo;  Pu, Juan 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/01/06 cantilever  resonator  electrostatic actuation  pull-pull drive