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| 一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法 专利
申请日期: 2019-08-16,
作者: 李萌 ; 席宁; 刘志华; 于鹏; 施佳林
  收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2019/09/10 |
| 一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法 专利
申请日期: 2019-08-16, 公开日期: 2021-05-25
作者: 刘连庆; 李萌; 施佳林; 于鹏; 刘志华
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/09/10 |
| 一种基于超声AFM闭环系统的可控深度表面缺陷加工方法 专利
申请日期: 2019-08-16, 公开日期: 2021-05-25
作者: 刘连庆; 李萌; 施佳林; 于鹏; 刘志华
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| 一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法 专利
申请日期: 2019-07-30,
作者: 马骏驰; 杨洋; 吴森; 刘柱; 于鹏
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2019/08/10 |
| 一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法 专利
申请日期: 2019-07-30, 公开日期: 2021-08-10
作者: 刘连庆; 于鹏; 刘柱; 吴森; 杨洋
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/08/10 |
| 一种基于二维反馈控制的AFM三维测量方法 专利
申请日期: 2019-07-30, 公开日期: 2021-08-10
作者: 刘连庆; 于鹏; 刘柱; 吴森; 杨洋
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2021/08/22 |
| 一种基于AFM的微/纳观力-电耦合特性测量装置及其方法 专利
申请日期: 2018-01-01, 公开日期: 2018-07-17
作者: 王学森[1]; 王成原[2]; 张康[3]; 俞笑竹[4]; 赵越[5]
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| 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 专利
申请日期: 2017-09-22, 公开日期: 2019-03-22
作者: 刘连庆; 施佳林; 于鹏; 李广勇
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2019/03/30 |
| 一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN107192857A, 申请日期: 2017-09-22,
作者: 刘连庆; 李广勇; 于鹏; 施佳林
收藏 | 浏览/下载：39/0 | 提交时间：2017/10/19 |
| 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN107188116A, 申请日期: 2017-09-22,
作者: 李广勇; 施佳林; 刘连庆; 于鹏
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2017/10/19 |
