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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2011 [2]
2010 [1]
1994 [1]
1983 [1]
学科主题
Physics [5]
Multidisci... [2]
Applied [1]
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学科主题:Physics
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Fabrication of Direct Silicon Bonded Hybrid Orientation Substrate by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer and Oxide Dissolution Annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 31301
Wei,X
;
Xue,ZY
;
Wu,AM
;
Cao,GB
;
Zhang,B
;
Lin,CL
;
Zhang,MA
;
Wang,X
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2012/04/10
JAPAN SOC APPLIED PHYSICS
Fabrication of Direct Silicon Bonded Hybrid Orientation Substrate by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer and Oxide Dissolution Annealing
期刊论文
APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2011, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 31301
Wei, X
;
Xue, ZY
;
Wu, AM(重点实验室)
;
Cao, GB
;
Zhang, B
;
Lin, CL(重点实验室)
;
Zhang, MA
;
Wang, X(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/05/10
Physics
Applied
Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2010, 卷号: 97, 期号: 19, 页码: 194101
di, zf(重点实验室)
;
Huang, MQ
;
Wang, YQ
;
Nastasi, M
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/05/10
Physics
Applied
INFLUENCE OF RAPID THERMAL ANNEALING ON STRUCTURAL AND INTERFACIAL PROPERTIES OF LEAD-ZIRCONATE-TITANATE THIN-FILMS PREPARED BY EXCIMER-LASER DEPOSITION
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 1994, 卷号: 11, 期号: 8, 页码: 518-521
ZHENG,LR
;
CHEN,YQ
;
LIN,CL
;
Zou,SC
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
CW CO2-LASER ANNEALING AND ALLOYING OF SEMICONDUCTORS
期刊论文
CHINESE PHYSICS, 1983, 卷号: 3, 期号: 1, 页码: 1-8
Zou,SC
;
LIN,CL
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/25
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