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上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1997 [1]
学科主题
Engineerin... [1]
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Design and characteristics of two-gimbals micro-gyroscopes fabricated with quasi-LIGA process
期刊论文
TRANSDUCERS 97 - 1997 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS AND ACTUATORS, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 1997, 页码: 891-894
Niu, MN
;
Xue, WC
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Wang, XD
;
Xie, JF
;
Yang, GQ
;
Wang, WY
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提交时间:2012/03/25
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