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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Alignment - Control equipment - Lithography - Manufacture - Optical systems - Wavefronts    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Dynamic compensation for the lithographic object lens 会议论文 Proceedings of SPIE: Optical System Alignment, Tolerancing, and Verification VIII, 2014 作者:  Zhu, Hongwei;  Xing, Tingwen;  Chen, Zexiang 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/23