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一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010112969.X, 申请日期: 2011-01-01, 公开日期: 2011-08-24
秦建华; 马静云; 姜雷; 李艳峰; 林炳承
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一种专用于微流控芯片制作的光刻机 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN02274235.2, 申请日期: 2003-06-11, 公开日期: 2003-06-11, 2011-07-11
戴忠鹏; 林炳承
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