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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：材料科学与物理化学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响 期刊论文 固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62 张平余; 刘洪; 丛秋滋; 张绪寿; 王秀娥; 顾则鸣 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2014/09/30 等离子体增强化学气相沉积  TiN镀层  物理机械性能  摩擦学性能  晶体学特征  沉积参数  plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)  TiN coating  physic-mechanical properties  tribological characteristic  crystallinity  deposition parameters   在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性 期刊论文 真空科学与技术, 1988, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 195-200 丛秋滋; 于德洋; 张平余; 李陇绪 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2014/08/20