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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A silicon capacitive microphone based on oxidized porous silicon sacrificial technology 会议论文 7th international conference on solid-state and integrated circuits technology, beijing, peoples r china, oct 18-21, 2004 Ning, J; Liu, ZL; Liu, HZ; Ge, YC 收藏  |  浏览/下载：163/37  |  提交时间：2010/03/29 silicon capacitive microphone  oxidized porous silicon  sacrificial layer   Fabrication of Silicon Condenser Microphone Using Oxidized Porous Silicon as Sacrificial Layer 期刊论文 半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 449-453 作者:  Ning Jin 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/23