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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of implantation of nitrogen into SIMOX buried oxide on its fixed positive charge density 期刊论文 acta physica sinica, 2007, 卷号: 56, 期号: 9, 页码: 5446-5451 Zheng, ZS (Zheng Zhong-Shan); Zhang, EX (Zhang En-Xia); Liu, ZL (Liu Zhong-Li); Zhang, ZX (Zhang Zheng-Xuan); Li, N (Li Ning); Li, GH (Li Guo-Hua) 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2010/03/29 SIMOX   Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a SiO2 sacrificial layer 期刊论文 materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 39908, 页码: 194-199 Zhang, Y; Liu, J; Li, Y; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：62/2  |  提交时间：2010/03/08 nanoscale metallic air-bridge  sacrificial layer  electron-beam lithography