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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of nanoscale metallic air-bridges by introducing a SiO2 sacrificial layer 期刊论文 materials science in semiconductor processing, 2007, 卷号: 10, 期号: 39908, 页码: 194-199 Zhang, Y; Liu, J; Li, Y; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：64/2  |  提交时间：2010/03/08 nanoscale metallic air-bridge  sacrificial layer  electron-beam lithography