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科研机构
半导体研究所 [7]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
2005 [1]
2002 [3]
2001 [2]
2000 [1]
学科主题
半导体物理 [7]
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学科主题:半导体物理
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The compact microcrystalline Si thin film with structure uniformity in the growth direction by hydrogen dilution profile
期刊论文
journal of applied physics, 2005, 卷号: 98, 期号: 9, 页码: art.no.093505
Gu J
;
Zhu MF
;
Wang LJ
;
Liu FZ
;
Zhou BQ
;
Zhou YQ
;
Ding K
;
Li GH
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浏览/下载:82/18
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提交时间:2010/03/17
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
Structural properties of polycrystalline silicon films formed by pulsed rapid thermal processing
期刊论文
chinese physics, 2002, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 492-495
Wang YQ
;
Liao XB
;
Diao HW
;
Zhang SB
;
Xu YY
;
Chen CY
;
Chen WD
;
Kong GL
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浏览/下载:102/13
  |  
提交时间:2010/08/12
polycrystalline silicon film
rapid thermal processing
microstructure
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS-SILICON
PRESSURE
TRANSISTORS
CRYSTALLIZATION
GROWTH
Effect of rapid thermal annealing and hydrogen plasma treatment on the microstructure and light-emission of silicon-rich oxide film
期刊论文
acta physica sinica, 2002, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 1564-1570
Wang YQ
;
Chen WD
;
Chen CY
;
Diao HW
;
Zhang SB
;
Xu YY
;
Kong GL
;
Liao XB
收藏
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2010/08/12
silicon-rich silicon oxide
microstructure
light-emission
rapid thermal annealing
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS-SILICON
POROUS SILICON
SI
LUMINESCENCE
NANOCRYSTALS
SPECTRA
SYSTEM
Microstructure of a-SiOx : H
期刊论文
science in china series a-mathematics physics astronomy, 2002, 卷号: 45, 期号: 10, 页码: 1320-1328
Wang YQ
;
Liao XB
;
Diao HW
;
Cheng WC
;
Li GH
;
Chen CY
;
Zhang SB
;
Xu YY
;
Chen WD
;
Kong GL
收藏
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2010/08/12
a-SiOx : H
microstructure
bonding configuration
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS-SILICON
ELECTRONIC-PROPERTIES
SIO2/SI INTERFACE
OXYGEN
FILMS
VIBRATIONS
ALLOYS
SYSTEM
Ion bombardment as the initial stage of diamond film growth
期刊论文
journal of applied physics, 2001, 卷号: 89, 期号: 3, 页码: 1983-1985
Liao MY
;
Qin FG
;
Zhang JH
;
Liu ZK
;
Yang SY
;
Wang ZG
;
Lee ST
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2010/08/12
BIAS-ENHANCED NUCLEATION
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
BEAM DEPOSITION
MECHANISM
SILICON
SPECTROSCOPY
The microstructure and its high-temperature annealing behaviours of a-Si : O : H film
期刊论文
acta physica sinica, 2001, 卷号: 50, 期号: 12, 页码: 2418-2422
Wang YQ
;
Chen CY
;
Chen WD
;
Yang FH
;
Diao HW
收藏
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浏览/下载:82/6
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提交时间:2010/08/12
a-Si : O : H
nc-Si
microstructure
annealing
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS SIO2
OPTICAL-PROPERTIES
SILICON
Carbon film deposited by mass-selected low energy ion beam technique and ion bombardment effect
期刊论文
acta physica sinica, 2000, 卷号: 49, 期号: 11, 页码: 2186-2190
Liao MY
;
Zhang JH
;
Qin FG
;
Liu ZK
;
Yang SY
;
Wang ZG
;
Lee ST
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2010/08/12
amorphous carbon
ion bombardment
mass-selected low energy ion beam
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
BIAS-ENHANCED NUCLEATION
DIAMOND FILMS
RAMAN-SCATTERING
GROWTH
SILICON
MECHANISM
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