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科研机构
半导体研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2009 [2]
2002 [1]
1991 [1]
学科主题
半导体材料 [4]
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学科主题:半导体材料
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Stress and resistivity controls on in situ boron doped LPCVD polysilicon films for high-Q MEMS applications
期刊论文
半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 8, 页码: 34-38
Xie Jing
;
Liu Yunfei
;
Yang Jinling
;
Tang Longjuan
;
Yang Fuhua
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/11/23
Lithography-independent and large scale fabrication of a metal electrode nanogap
期刊论文
半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 9, 页码: 142-145
作者:
Li Yan
;
Zhang Jiayong
;
Fan Zhongchao
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/23
Studies of 6H-SiC devices
期刊论文
current applied physics, 2002, 卷号: 2, 期号: 5, 页码: 393-399
Wang SR
;
Liu ZL
收藏
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2010/08/12
SiC
Schottky
pn junction diodes
MOS capacitor
JUNCTION DIODES
THE OXIDATION-KINETICS OF THIN POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS
期刊论文
journal of the electrochemical society, 1991, 卷号: 138, 期号: 1, 页码: 214-219
WANG YY
;
JIANG T
;
SHEN T
;
SUN TJ
;
ZHANG AZ
;
FENG SQ
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2010/11/15
THERMAL-OXIDATION
INTERFACE
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