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Stress and resistivity controls on in situ boron doped LPCVD polysilicon films for high-Q MEMS applications 期刊论文
半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 8, 页码: 34-38
Xie Jing; Liu Yunfei; Yang Jinling; Tang Longjuan; Yang Fuhua
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/11/23
Structural and optical properties of ZnO films on SrTiO3 substrates by MOCVD 期刊论文
journal of physics d-applied physics, 2009, 卷号: 42, 期号: 1, 页码: art. no. 015415
作者:  Jia CH
收藏  |  浏览/下载：173/14  |  提交时间：2010/03/08
Improvement in crystal quality of ZnO film on Si substrate by using a homo-buffer layer 期刊论文
materials science in semiconductor processing, 2009, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 233-237
作者:  Zhao J
收藏  |  浏览/下载：44/4  |  提交时间：2011/07/05
A simple route of morphology control and structural and optical properties of ZnO grown by metal-organic chemical vapour deposition 期刊论文
chinese physics letters, 2008, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 3063-3066
Fan, HB; Yang, SY; Zhang, PF; Wei, HY; Liu, XL; Jiao, CM; Zhu, QS; Chen, YH; Wang, ZG
收藏  |  浏览/下载：80/3  |  提交时间：2010/03/08
Using different carrier gases to control AlN film stress and the effect on morphology, structural properties and optical properties 期刊论文
journal of physics d-applied physics, 2007, 卷号: 40, 期号: 23, 页码: 7462-7466
Hu, WG; Liu, XL; Jiao, CM; Wei, HY; Kang, TT; Zhang, PF; Zhang, RQ; Fan, HB; Zhu, QS
收藏  |  浏览/下载：56/4  |  提交时间：2010/03/08
Novel electroabsorption modulator monolithically integrated with spot-size converter 期刊论文
chinese optics letters, 2005, 卷号: 3, 期号: 1, 页码: 49-52
作者:  Wang Wei;  Wang Wei
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/11/23
A 10-GHz Bandwidth Electroabsorption Modulated Laser by Ultra-Low-Pressure Selective Area Growth 期刊论文
chinese physics letters, 2005, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2016-2019
作者:  Wang Wei;  Pan Jiaoqing;  Wang Wei
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/11/23
1.55μm Laser Diode Monolithically Integrated with Spot-Size Converter Using Conventional Process 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 443-447
作者:  Wang Wei;  Wang Wei
收藏  |  浏览/下载：118/1  |  提交时间：2010/11/23
Chemical liquid phase deposition of thin aluminum oxide films 期刊论文
chinese journal of chemistry, 2004, 卷号: 22, 期号: 7, 页码: 661-667
Sun J; Sun YC
收藏  |  浏览/下载：65/22  |  提交时间：2010/03/09
Effects and numerical analysis of argon gas flow on the oxygen concentration in Czochralski silicon single crystal growth 会议论文
iumrs/icem 2002 conference, xian, peoples r china, jun 10-14, 2002
Zhang ZC; Ren BY; Chen YH; Yang SY; Wang ZG
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/11/15

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