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离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响 期刊论文
物理学报, 2001, 卷号: 50, 期号: 7, 页码: 1324
作者:  杨少延
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用PECVD在低温衬底上制备类金刚石碳膜(英文) 期刊论文
人工晶体学报, 2000, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 220
廖显伯; 邓勋明
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2010/11/23


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