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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2000 [1]
学科主题
半导体材料 [2]
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学科主题:半导体材料
内容类型:期刊论文
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Study of GaN growth on ultra-thin Si membranes
期刊论文
solid-state electronics, 2008, 卷号: 52, 期号: 6, 页码: 986-989
Wang X
;
Wu AM
;
Chen J
;
Wang X
;
Wu YX
;
Zhu JJ
;
Yang H
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浏览/下载:58/2
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提交时间:2010/03/08
GaN
Microstructures of microcrystalline silicon thin films prepared by hot wire chemical vapor deposition
期刊论文
thin solid films, 2000, 卷号: 360, 期号: 1-2, 页码: 205-212
Zhu M
;
Guo X
;
Chen G
;
Han H
;
He M
;
Sun K
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浏览/下载:101/0
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提交时间:2010/08/12
microstructures
microcrystalline silicon
hot wire chemical vapor deposition
AMORPHOUS-SILICON
HYDROGEN
PLASMA
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GROWTH
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