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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2007 [3]
2006 [1]
学科主题
光学薄膜 [4]
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学科主题:光学薄膜
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:820/182
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:501/116
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
8.0nm反射式偏振膜的设计和制备
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2049
吕超
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1027/257
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提交时间:2009/09/22
多层膜
Multilayer
软X射线
Soft X-ray
偏振
Polarization
准布儒斯特角
Bruster angle
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
期刊论文
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1191, 1193
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:817/81
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提交时间:2009/09/22
余弦模型
梯度折射率
多层膜
软X射线反射率
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