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科研机构
上海光学精密机械研... [17]
内容类型
期刊论文 [17]
发表日期
2008 [4]
2007 [4]
2006 [4]
2005 [5]
学科主题
光学薄膜 [17]
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学科主题:光学薄膜
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低损耗193nm反射膜的设计
期刊论文
光学精密工程, 2008, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 397
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1049/199
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提交时间:2009/09/22
反射膜
Absorption loss
电场强度
Electricity field intensity
吸收损耗
High reflectance
散射损耗
HR coating
HR mirror
Outer layer
Scattering loss
沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 396, 400
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:859/126
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Absorbance
氟化镁
Laser induced damage threshold
光学损耗
MgF2 films
吸收
Reflectance spectra
损伤阈值
Resistance boat evaporation
Transmittance spectra
热舟蒸发LaF_3薄膜的紫外性能研究
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1941, 1945
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
;
赵祖欣
收藏
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浏览/下载:1368/225
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提交时间:2009/09/22
optical film
depositing temperature
LaF3
optical loss
不同方法制备的Ta_2O_5薄膜光学性能和激光损伤阈值的对比分析
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1595, 1599
许程
;
董洪成
;
肖祁陵
;
麻健勇
;
晋云霞
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:675/151
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提交时间:2009/09/22
薄膜
激光损伤阈值
吸收
退火
Beam evaporations
Damage thresholds
High purities
Impurity contents
Laser induced damage threshold
Mean squares
Microdefect densities
RMS roughnesses
Starting materials
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:820/182
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:500/116
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
薄膜材料对TiO2基薄膜激光损伤阈值的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 9, 页码: 556, 558
姚建可
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:583/106
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提交时间:2009/09/22
Composite films
Composite materials
Electron beams
Evaporation
Laser damage
Optical films
Optical properties
Phase transitions
Polycrystalline materials
Sintering
Structural properties
Surface defects
Surface properties
Surface roughness
Thin fi
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:922/162
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 81, 85
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
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浏览/下载:693/143
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si
MoSi2
溅射能量
高光洁度玻璃基片的表面散射和体散射测量
期刊论文
强激光与粒子束, 2006, 卷号: 18, 期号: 4, 页码: 609, 611
侯海虹
;
洪瑞金
;
范正修
;
易葵
;
邵建达
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浏览/下载:594/92
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提交时间:2009/09/22
表面散射
体散射
总积分散射
玻璃基片
表面粗糙度
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