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科研机构
上海光学精密机械研究... [8]
内容类型
期刊论文 [8]
发表日期
2008 [1]
2007 [4]
2006 [3]
学科主题
光学薄膜 [8]
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学科主题:光学薄膜
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基底温度对直流磁控溅射ITO透明导电薄膜性能的影响
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2031, 2035
曾维强
;
姚建可
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1239/160
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜
ITO透明导电膜
基底温度
直流磁控溅射
Crystal grain sizes
Direct current magnetron sputtering
Direct currents
Glass substrates
Indium oxides
Interplanar spacings
ITO transparent conductive thin films
Mass fractions
Substrate temperature
X-ray diffractions
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:825/182
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:506/116
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
8.0nm反射式偏振膜的设计和制备
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2049
吕超
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1044/257
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提交时间:2009/09/22
多层膜
Multilayer
软X射线
Soft X-ray
偏振
Polarization
准布儒斯特角
Bruster angle
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:947/167
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
磁控溅射不同厚度银膜的微结构及其光学常数
期刊论文
物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 9, 页码: 4923, 4927
孙喜莲
;
洪瑞金
;
齐红基
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1197/135
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提交时间:2009/09/22
DC sputtering deposition
Ag films
microstructrue
optical constants
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 81, 85
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:710/143
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si
MoSi2
溅射能量
高光洁度玻璃基片的表面散射和体散射测量
期刊论文
强激光与粒子束, 2006, 卷号: 18, 期号: 4, 页码: 609, 611
侯海虹
;
洪瑞金
;
范正修
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:605/92
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提交时间:2009/09/22
表面散射
体散射
总积分散射
玻璃基片
表面粗糙度
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