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科研机构
上海光学精密机械研究... [7]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
2007 [3]
2006 [2]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [7]
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学科主题:光学薄膜
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
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浏览/下载:820/182
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:501/116
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:928/163
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
高光洁度玻璃基片的表面散射和体散射测量
期刊论文
强激光与粒子束, 2006, 卷号: 18, 期号: 4, 页码: 609, 611
侯海虹
;
洪瑞金
;
范正修
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:595/92
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提交时间:2009/09/22
表面散射
体散射
总积分散射
玻璃基片
表面粗糙度
Co和Cu薄膜电学特性和连续性特征的判据
期刊论文
中国有色金属学报, 2006, 卷号: 16, 期号: 4, 页码: 651, 656
范平
;
易葵
;
邵建达
;
齐红基
;
范正修
收藏
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浏览/下载:622/114
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提交时间:2009/09/22
Co薄膜
Cu薄膜
金属材料
电学特性
氧分压对电子束蒸发SiO2薄膜机械性质和光学性质的影响
期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 742, 745
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
;
沈卫星
;
江敏华
收藏
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浏览/下载:691/105
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提交时间:2009/09/22
SiO2薄膜
SiO_2 films
氧分压
Oxygen partial pressure
残余应力
Residual stress
表面形貌
Surface morphology
折射率
Refractive index
电子束蒸发
Electron beam evaporation
测量薄膜微粗糙度的总积分散射仪
期刊论文
中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 1258, 1261
侯海虹
;
洪瑞金
;
张东平
;
易葵
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:843/88
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提交时间:2009/09/22
测量
measurement
表面粗糙度
surface roughness
标量散射
scalar scattering
散射仪
scatterometer
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