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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：259/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   在线可更换模块（LRU）调平与对接关键技术研究 学位论文 作者:  王世魏 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2018/12/26 混联机构  Hybrid mechanism  调平与对接  Leveling and docking  同时建图与定位  SLAM  二维码定位  Positioning by Qr-code   铷原子喷泉钟部分单元系统的设计与改进 学位论文 作者:  陈婷婷 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/12/26 原子频标  atomic frequency standard  铷原子喷泉钟  Rb atomic fountain clock  阿兰方差  Allan variance  高效率态制备  high efficient state preparation   机载双频激光雷达波形深度提取方法研究 学位论文 作者:  刘梦庚 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/12/26 双频激光雷达  Dual-FrequencyLidar, Full-Waveform signal processing, DEM, daptive depth extraction algorithm  全波形数据处理  三维地形  自适应深度提取   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction