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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   在线可更换模块（LRU）调平与对接关键技术研究 学位论文 作者:  王世魏 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2018/12/26 混联机构  Hybrid mechanism  调平与对接  Leveling and docking  同时建图与定位  SLAM  二维码定位  Positioning by Qr-code   光学元件波前分布对光束质量的影响研究 学位论文 作者:  徐林波 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 波前畸变  Wavefront aberration  数值模拟  Simulation calculation  光束质量  Beam quality  光路设计  Optical layout design   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频，光学锁相环，1572nm种子激光器，1064nm种子激光器，IPDA激光雷达，高光谱分辨率激光雷达  Frequency-modulation spectrum stabilization, Optical phase-locked loop, 1572nm seed laser, 1064nm seed laser, IPDA lidar, High spectral resolution lidar   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频  Frequency-modulation spectrum stabilization  光学锁相环  Optical phase-locked loop  1572nm种子激光器  1572nm seed laser  1064nm种子激光器  1064nm seed laser  IPDA激光雷达  IPDA lidar  高光谱分辨率激光雷达  High spectral resolution lidar   高功率激光光束质量提升关键因素研究 学位论文 作者:  雷泽民 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/12/26 光束质量  beam quality  光束传输模拟  light propagation simulation  光学元件面形  optical component surface  连续相位板  continuous phase plate  集束聚焦  beam array focus