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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：264/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术 学位论文 作者:  董冠极 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  Optical Measurement  像差  Aberration  泽尼克多项式  Zernike polynomials  点衍射干涉  Point-diffraction   基于相移光纤光栅和半导体光放大器的窄线宽环形腔激光器稳定性研究 学位论文 作者:  施展 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/12/26 相移光纤光栅，环形腔，窄线宽，光热效应，稳定性  Phase-shifted fiber grating, ring cavity, narrow linewidth, photothermal effect，stability