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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2021     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Critical-dimension scanning electron microscope characterization of smoothly varying wave structures with a Monte Carlo simulation 期刊论文 JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2021, 卷号: 54 作者:  Khan, M. S. S.;  Yang, L. H.;  Deng, X.;  Mao, S. F.;  Zou, Y. B. 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2021/09/06 linescan  nano characterization  CD-SEM  Monte Carlo simulation  atom lithography