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半导体研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2020 [4]
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发表日期:2020
专题:半导体研究所
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Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching
期刊论文
MICROMACHINES, 2020, 卷号: 11, 期号: 7, 页码: 638
作者:
Lihao Wang
;
Meijie Liu
;
Junyuan Zhao
;
Jicong Zhao
;
Yinfang Zhu
;
Jinling Yang
;
Fuhua Yang
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2021/06/28
HCl-H2SO4-H2O solution etching behavior of InAs (1 0 0) surface
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2020, 卷号: 547, 页码: 125800
作者:
Guiying Shen
;
Youwen Zhao
;
Jing Sun
;
Jingming Liu
;
Hui Xie
;
Jun Yang
;
Zhiyuan Dong
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2021/05/24
Defect appearance on 4H-SiC homoepitaxial layers via molten KOH etching
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2020, 卷号: 531, 页码: 125359
作者:
X.F. Liu
;
G.G. Yan
;
L. Sang
;
Y.X. Niu
;
Y.W. He
;
Z.W. Shen
;
Z.X. Wen
;
J. Chen
;
W.S. Zhao
;
L. Wang
;
M. Guan
;
F. Zhang
;
G.S. Sun
;
Y.P. Zeng
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2021/11/26
Highly Efficient Fiber Cladding Light Stripper Fabricated by Chemical Mask Etching Method
期刊论文
JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, 2020, 卷号: 38, 期号: 18, 页码: 5136-5141
作者:
Shuzhen Zou
;
Haijuan Yu
;
Jingyuan Zhang
;
Jiexi Zuo
;
Zhiyong Dong
;
Shuang Xu
;
Liang Chang
;
Pengfei Zhao
;
Xuechun Lin
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2021/05/25
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