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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2019    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Cluster secondary ion emission of silicon: An influence of the samples' dimensional features 其他 2019-01-01 作者:  Tolstogouzov, Alexander;  Drozdov, Mikhail N.;  Belykh, Sergey F.;  Gololobov, Gennady P.;  Ieshkin, Alexei E. 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/05 Trade-offs between stress control and blister avoidance in MEMS devices 其他 2019-01-01 作者:  Sun, Quansheng;  Wu, Lixiang;  Wang, Junli;  Wang, Gaofeng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/12/05 thin-film stress  blister defects  roughness  annealing  silicon nitride  amorphous silicon