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科研机构
力学研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
专利 [2]
发表日期
2019 [2]
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共2条,第1-2条
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发表日期:2019
内容类型:专利
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一种双光路脉冲激光在Si(100)基片上沉积InGaN薄膜的方法
专利
专利号: CN109830429A, 申请日期: 2019-05-31, 公开日期: 2019-05-31
作者:
陆珊珊
;
刘宇伦
;
莫观孔
;
莫组康
;
沈晓明
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提交时间:2019/12/30
一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法
专利
专利号: ZL201710328563.7, 申请日期: 2019-02-22,
作者:
夏原
;
高方圆
;
李光
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提交时间:2020/02/09
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