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一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利号: 201310544722.9, 申请日期: 2017-04-26, 公开日期: 2015-05-20
作者:  翁立军;  伏彦龙;  刘维民;  王德生;  胡明
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