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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  沈丽娜 收藏  |  浏览/下载：143/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  矢量成像模型  偏振像差  泡利-泽尼克系数  偏振像差检测   Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文 光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003 作者:  Li SK(李思坤);  Zhang H(张恒);  Meng ZJ(孟泽江);  Zhu BE(诸波尔);  Yan GY(闫观勇) 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2017/12/25 General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文 J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112 作者:  Zhu, Boer;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文 J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112 作者:  Zhang, Heng;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/12/25 Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文 光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003 作者:  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Zhu BE(诸波尔) 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2017/12/25