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离子注入制备Al_2O_3阻氚涂层中氧元素分布的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 504-509
作者:  冯军;  金凡亚;  陈美艳;  但敏;  沈丽如
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