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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  李永 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  子孔径拼接  误差累积  高反射率平面  45°平面镜