QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：上海大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Preparation of porous alumina abrasives and their chemical mechanical polishing behavior 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2012, 卷号: 520, 页码: 2868-2872 作者:  Lei, Hong[1];  Wu, Xin[2];  Chen, Ruling[3] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/04/30 Chemical mechanical polishing (CMP)  Porous alumina abrasive  Hard disk substrate  Planarization   Research on CMP performances of flower-like porous alumina abrasives with different pore sizes 期刊论文 International Journal of Abrasive Technology, 2012, 卷号: 5, 页码: 202-212 作者:  Bu, Naijing[1] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/30 Preparation of porous Fe2O3/SiO2 nanocomposite abrasives and their chemical mechanical polishing behaviors on hard disk substrates 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2012, 卷号: 520, 页码: 6174-6178 作者:  Li, Hu[1];  Lei, Hong[2];  Chen, Ruling[3] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/30 Chemical mechanical polishing  Hard disk substrate  Porous Fe2O3/SiO2 nanocomposite  Material removal rate  Polishing active element